14-ая Международная конференция "Взаимодействие излучений с твердым телом" (Interaction of radiation with solids)
Picture of Guest user
You are currently using guest access (Login)
 
 
Picture of Асия Имрановна Мухаммад
ПЛАЗМОННОЕ ПОГЛОЩЕНИЯ В СТРУКТУРАХ С ОКОШЕЧНЫМ ПОВЕРХНОСТНЫМ КРЕМНИЕВЫМ СЛОЕМ, ИМПЛАНТИРОВАННЫМ ИОНАМИ AS+
by Асия Имрановна Мухаммад - Friday, 17 Сентябрь 2021, 09:15 PM
 

Методами Фурье-спектрометрии были исследованы экспериментальные спектры пропускания и отражения периодических структур  Si/SiO2/Si3N4/Si со структурированным (окошечным) поверхностным слоем Si, легированного ионами As+, в зависимости от горизонтальной геометрии поверхностного слоя. Установлено, что экспериментальные спектры пропускания и отражения находятся в хорошей корреляции с теоретическими спектрами, рассчитанными с помощью метода конечных разностей во времени. Показано, что период структуры при неизменном расстоянии между окнами влияет на спектр пропускания в диапазоне 2-8 мкм. Мы полагаем, что это может быть обусловлено плазмонными эффектами. Уровень поглощения структур с периодом 4 мкм и размером окна 2 мкм остается высоким во всем исследованном диапазоне (2-17 мкм), при этом разница между минимальным и максимальным значением не превышает 20%.  Полоса поглощения с наибольшей интенсивностью для такой структуры наблюдается на длине волны 4 мкм и может быть объяснена возникновением плазмонных колебаний.